葉錦博
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氟化氫電磁閥
是一種用途廣泛的化工產品、外觀為無色發煙液體的99%以上的氫氟酸,在低溫下為無色透明的液體,在減壓或高溫下易氣化,主要用作制取氟鹽、氟鹵烷烴、氟致冷劑、腐蝕玻璃、浸漬木材和電解元素氟等。無水氟化氫為反應性的物質,能與各種物質發生反應,易溶于水,制成氫氟酸。高純度的氫氟酸可作為強酸性清洗劑、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用,主要應用于集成電路(IC)和超大規模集成電路(VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一,其純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都起著十分重要的作用。因此氫氟酸的制備系統的安全性要求極為嚴格,防止對人員和環境造成傷害,且要求制得更加純凈的氫氟酸,需要設計出一種自動控制效果好、安全性能高的生產系統。
氟化氫電磁閥一種全自動氫氟酸生產系統,采用液相無水氟化氫生產氫氟酸,其特征在于:包括槽罐車、原料儲罐、備用原料儲罐、精餾系統、中間槽循環冷卻吸收系統、尾排系統、成品罐、成品泵、過濾器和PLC控制系統,氫氟酸的整個生產過程由PLC控制系統控制,其中,
所述槽罐車設有水沖真空泵裝置,槽罐車內的液相無水氟化氫通過惰性氣體壓力卸載的方式轉移到原料儲罐,槽罐車的接卸臂內殘留的液相無水氟化氫通過水沖真空泵裝置清洗;所述原料儲罐的外面設置一個接駁站,以惰性氣體壓力為輸送動力將液相無水氟化氫經輸送管道進入精餾系統
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