產品特點： 于檢測半導體特氣的微量泄漏。 采用聲光報警。
型 號 | XP-703D |
檢測對象氣體 | 半導體材料氣體（胂、膦、硅烷、氫氣等） |
檢測原理 | 型半導體式 |
采樣方式 | 自動吸引式 |
可檢測濃度 （單位：ppm） | 砷烷 磷烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
檢測表示 | 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 |
應答速度 | 10秒以內 |
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產品特點： 于檢測半導體特氣的微量泄漏。 采用聲光報警。
型 號 | XP-703D |
檢測對象氣體 | 半導體材料氣體（胂、膦、硅烷、氫氣等） |
檢測原理 | 型半導體式 |
采樣方式 | 自動吸引式 |
可檢測濃度 （單位：ppm） | 砷烷 磷烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
檢測表示 | 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 |
應答速度 | 10秒以內 |
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