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馬爾粗糙度輪廓儀LD 260

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更新時間:2023-05-31 15:20:49瀏覽次數:238次

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產品簡介

產品特點:l高速移動和定位l130mm/260mm長測量行程以及大測頭測量范圍l創新測針系統以及仿生學測臂設計l磁性的測臂夾持裝置和測臂識別裝置l粗糙度和輪廓度二合一l基于友好服務理念的模塊化設計技術參數:水平軸的特征:?行程長度(Lt):0

詳細介紹

  

  

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產品特點 :

l 高速移動和定位

l 130mm/260mm長測量行程以及大測頭測量范圍

l 創新測針系統以及仿生學測臂設計

l 磁性的測臂夾持裝置和測臂識別裝置

l 粗糙度和輪廓度二合一

l 基于友好服務理念的模塊化設計

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技術參數:

水平軸的特征:

? 行程長度(Lt)0. mm to 260 mm

? 定位速度:0.02 mm/s 200 mm/s

? 測量速度:0.02 mm/s 10 mm/s; 粗糙度測量 推薦速度0.1 mm/s0.5 mm/s

? X方向取樣間距:0.05 μm30 μm,可調整

? 每次測量最多測量點:5200000

? 分辨率:0.8 nm

? X軸測量的不確定度:± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm

測頭系統特征:

? 測頭測量范圍:26 mm (200 mm測臂)

? 分辨率:0.8mm

? 測量力:0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設置

殘余誤差 Rz0, Rq0

? vt = 0.1 mm / s時的殘余誤差:Rz0 20 nm Rq0 1 nm, typical

輪廓:

? 距離測量顯示誤差:± (1.0+l / 150) µm; l 單位 mm

? 半徑測量顯示誤差:(R 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm

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