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Chotest中圖白光干涉儀光學(xué)實驗設(shè)備

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參考價: ￥ 960000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SuperViewW1

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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聯(lián)系方式：精密儀器儀查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-05-18 14:19:44瀏覽次數(shù)：306次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  顯微測量儀

白光干涉儀

共聚焦顯微鏡

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：99條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：精密儀器儀（中圖儀器）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	產(chǎn)品類別	其他

SuperViewW1Chotest中圖白光干涉儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。它所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能

1）Chotest中圖白光干涉儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

技術(shù)指標(biāo)

型號		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標(biāo)配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學(xué)ZOOM		標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1×
標(biāo)準(zhǔn)視場		0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×）
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
	移動范圍	140×100㎜
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動
形貌重復(fù)性		0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性		0.005nm
臺階測量		準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)
可測樣品反射率		0.05%~100
主機(jī)尺寸		700×606×920㎜