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深圳市中圖儀器股份有限公司
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| 產地 | 國產 | 光源頻率 | 雙頻 |
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中圖激光干涉儀sj6000系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
中圖激光干涉儀sj6000配備的EC20環境補償單元，由環境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。儀器集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。
中圖激光干涉儀sj6000系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環境補償。
導軌直線度檢測
檢定測長機
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 動態采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
（1）友好的人機界面；
（2）豐富的應用功能模塊；
（3）向導式的操作流程；
（4）簡潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業專屬模板定制。
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