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深圳市中圖儀器股份有限公司


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高精度共聚焦顯微鏡

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參   考   價: 950000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號VT6100

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地深圳市

聯系方式:精密儀器儀查看聯系方式

更新時間:2025-04-14 17:35:51瀏覽次數:1109次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:100條

所在地區:廣東深圳市

聯系人:精密儀器儀 (中圖儀器)

產品簡介
產地 國產 儀器種類 雙轉盤共聚焦顯微鏡
應用領域 材料領域    

高精度共聚焦顯微鏡具有高對比度、高分辨率及可重建三維圖像的優勢,查看各種顯微照片更加清晰,在材料生產、科研和檢測領域獲得廣泛應用?;诩す夤簿劢癸@微測量技術的共聚焦顯微3D測量儀,配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節的展現纖毫畢現,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。并且可以在保證分辨率的同時滿足測量速度的需求。

詳細介紹

中圖儀器VT6000高精度共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術,結合精密Z向掃描與智能3D建模算法,可實現對納米至微米級表面形貌的高精度測量,覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應用于半導體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領域,助力企業提升質量控制效率與產品研發能力。

高精度共聚焦顯微鏡


核心優勢

1、納米級測量精度

高度重復性≤12nm,精度達(0.2+L/100)μm,滿足ISO/ASME/EUR/GBT四大標準下的300+參數分析需求。

顯示分辨率低至0.1nm,精準捕捉微觀缺陷與形貌特征。

2、多功能一體化設計

3D形貌測量:全自動建模,支持粗糙度、曲率、平整度等關鍵參數提取。

2D影像測量:一鍵完成長度、角度、半徑等平面尺寸分析。

智能拼接技術:大視場掃描(大300×300mm),無縫拼接復雜表面數據。

3、非接觸式安全檢測

零接觸掃描技術,避免樣品損傷,適用于脆性材料(如晶圓、光學膜材)及高反光表面。

鏡頭碰撞彈性回縮+光源自動熄燈保護,雙重安全機制延長設備壽命。

4、靈活配置,高效適配

可選5×至100×多規格物鏡(APO級消色差鏡頭),適應不同倍率需求。

模塊化位移平臺(負載10kg,行程100×100mm至300×300mm),支持多樣化工件檢測。

5、全流程服務保障

60天快速交付:合同生效后60天內完成生產與物流。

免費安裝培訓:現場調試+操作培訓,確??蛻舄毩⑹褂谩?/p>

12個月質保+72小時故障響應,終身技術支持。


產品功能

1)3D測量功能:設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進行長度、角度、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設備具備自動拼接功能,能夠實現大區域的拼接縫合測量;

4)數據處理功能:設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;

5)分析工具功能:設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節、光源亮度調節、急停等;

8)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態,大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險。


不同應用場景下的3D形貌

VT6000高精度共聚焦顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。

3D形貌圖片:

高精度共聚焦顯微鏡


影像測量功能界面

高精度共聚焦顯微鏡


典型應用場景

半導體制造:晶圓表面缺陷檢測、V型槽深度測量、激光孔形貌分析。

3C電子:手機玻璃屏平整度、微透鏡陣列曲率、PCB基材粗糙度檢測。

汽車工業:精密零部件幾何輪廓、金剛石鉆頭磨損評估。

科研與新材料:超光滑表面粗糙度、微納結構體積計算、太陽能柵線形貌建模。


部分技術指標

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學系統
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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