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深圳市中圖儀器股份有限公司


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高精度共聚焦顯微鏡

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參   考   價(jià): 950000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)VT6100

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式:精密儀器儀查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2025-04-14 17:35:51瀏覽次數(shù):1114次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:99條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:精密儀器儀 (中圖儀器)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 儀器種類 雙轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡
應(yīng)用領(lǐng)域 材料領(lǐng)域    

高精度共聚焦顯微鏡具有高對(duì)比度、高分辨率及可重建三維圖像的優(yōu)勢(shì),查看各種顯微照片更加清晰,在材料生產(chǎn)、科研和檢測(cè)領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。基于激光共聚焦顯微測(cè)量技術(shù)的共聚焦顯微3D測(cè)量?jī)x,配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。并且可以在保證分辨率的同時(shí)滿足測(cè)量速度的需求。

詳細(xì)介紹

中圖儀器VT6000高精度共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術(shù),結(jié)合精密Z向掃描與智能3D建模算法,可實(shí)現(xiàn)對(duì)納米至微米級(jí)表面形貌的高精度測(cè)量,覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領(lǐng)域,助力企業(yè)提升質(zhì)量控制效率與產(chǎn)品研發(fā)能力。

高精度共聚焦顯微鏡


核心優(yōu)勢(shì)

1、納米級(jí)測(cè)量精度

高度重復(fù)性≤12nm,精度達(dá)(0.2+L/100)μm,滿足ISO/ASME/EUR/GBT四大標(biāo)準(zhǔn)下的300+參數(shù)分析需求。

顯示分辨率低至0.1nm,精準(zhǔn)捕捉微觀缺陷與形貌特征。

2、多功能一體化設(shè)計(jì)

3D形貌測(cè)量:全自動(dòng)建模,支持粗糙度、曲率、平整度等關(guān)鍵參數(shù)提取。

2D影像測(cè)量:一鍵完成長(zhǎng)度、角度、半徑等平面尺寸分析。

智能拼接技術(shù):大視場(chǎng)掃描(大300×300mm),無(wú)縫拼接復(fù)雜表面數(shù)據(jù)。

3、非接觸式安全檢測(cè)

零接觸掃描技術(shù),避免樣品損傷,適用于脆性材料(如晶圓、光學(xué)膜材)及高反光表面。

鏡頭碰撞彈性回縮+光源自動(dòng)熄燈保護(hù),雙重安全機(jī)制延長(zhǎng)設(shè)備壽命。

4、靈活配置,高效適配

可選5×至100×多規(guī)格物鏡(APO級(jí)消色差鏡頭),適應(yīng)不同倍率需求。

模塊化位移平臺(tái)(負(fù)載10kg,行程100×100mm至300×300mm),支持多樣化工件檢測(cè)。

5、全流程服務(wù)保障

60天快速交付:合同生效后60天內(nèi)完成生產(chǎn)與物流。

免費(fèi)安裝培訓(xùn):現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試+操作培訓(xùn),確保客戶獨(dú)立使用。

12個(gè)月質(zhì)保+72小時(shí)故障響應(yīng),終身技術(shù)支持。


產(chǎn)品功能

1)3D測(cè)量功能:設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;

2)影像測(cè)量功能:設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能,可進(jìn)行長(zhǎng)度、角度、半徑等尺寸測(cè)量;

3)自動(dòng)拼接功能:設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

8)光源安全功能:光源設(shè)置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能,當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,防止光源高亮過(guò)熱損壞,并有效延長(zhǎng)光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設(shè)備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。


不同應(yīng)用場(chǎng)景下的3D形貌

VT6000高精度共聚焦顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。

3D形貌圖片:

高精度共聚焦顯微鏡


影像測(cè)量功能界面

高精度共聚焦顯微鏡


典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造:晶圓表面缺陷檢測(cè)、V型槽深度測(cè)量、激光孔形貌分析。

3C電子:手機(jī)玻璃屏平整度、微透鏡陣列曲率、PCB基材粗糙度檢測(cè)。

汽車工業(yè):精密零部件幾何輪廓、金剛石鉆頭磨損評(píng)估。

科研與新材料:超光滑表面粗糙度、微納結(jié)構(gòu)體積計(jì)算、太陽(yáng)能柵線形貌建模。


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測(cè)量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場(chǎng)范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量
寬度測(cè)量
XY位移平臺(tái)負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺(tái)5孔電動(dòng)
光源白光LED

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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