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德國馬爾 MARSURF CD 280輪廓測量儀

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更新時間：2023-05-29 15:19:34瀏覽次數：368次

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產品簡介

新的MarSurfCD系列從Mahr設定了新的標準，當涉及到輪廓測試

詳細介紹

新的MarSurfCD系列從Mahr設定了新的標準，當涉及到輪廓測試。隨著新的MarSurf CD系列的推出，制造公司正在進入一個新的維度，以可靠地保障和提高測量室或接近生產的工件的制造質量。

新的測量站概念結合了速度、可靠性和靈活性。目的是提高公司系統的盈利能力。


創新技術：

快軸

  • X的定位速度可達200毫米/秒
  • 比前輩MarSurf PCV和MarSurf CD 120快25倍
  • 這個系列的所有測量站都有一個全數控Z軸。
  • Z軸大約.比以前的Mahr Z軸快兩倍
  • 比市面上常見的X軸快5倍。

高動態智能探測系統           

  • 基于集成芯片的探針臂識別
  • 標準測量范圍可達70毫米；帶490毫米探針臂的100毫米
  • 磁頭臂安裝，探針臂無工具更換
  • 該探測系統將魯棒性和動力學相結合。
  • 可選：用于粗糙度評估的擴展

創新工件夾緊系統
  • 安裝板390 x 430 mm，孔尺寸50 mm
  • 集成60毫米Ty平差
  • 安裝板與集成Ty調整的結合省去了增加XY工作臺的需求。
  • 工件設置過低導致測量電路短路，這對測量結果有積極的影響。
  • 技術數據
  • 應用
  • 附件
  • 版本


 
MarSurf CD 280
MarSurf CD 140
測桿長度
210毫米；350毫米；490毫米
210毫米；350毫米；490毫米
(測量速度(文本)
0.02-10毫米/秒
0.02-10毫米/秒
掃描長度末尾(X方向)
280毫米
140毫米
分辨率
馬克斯。6nm(帶210毫米探針臂)
馬克斯。6nm(帶210毫米探針臂)
掃描長度開始(X方向)
0.1毫米
0.1毫米
(定位速度(文本)
0.02-200毫米/秒(單位：X)
0.02-200毫米/秒(單位：X)
導塊偏差
0、35米/60毫米
0，4毫米/140毫米
0，75毫米/280毫米
0.35毫米/60毫米
0.4米/140毫米
測量范圍mm
70毫米(Z與350毫米探針臂)
馬克斯。100毫米(帶490毫米探針臂)
70毫米(Z與350毫米探針臂)
馬克斯。100毫米(帶490毫米探針臂)
測量力(N)
4 mN至30 mN，Z+和Z-，可通過軟件調節
4 mN至30 mN，Z+和Z-，可通過軟件調節

關鍵詞：芯片 工作臺
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