產(chǎn)品介紹:
藍寶石及碳化硅晶片平坦度及表面形態(tài)測試儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。它能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。
產(chǎn)品特點:
■ 無接觸和無損傷測量
■ 適用多種類型材料:半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
■ 適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■ 適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面
■ 測量多種不同指標:
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■ 完整的分析系統(tǒng):
三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以實現(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量
■ 超過15年的工業(yè)應(yīng)用,幾百臺的裝機量
技術(shù)參數(shù):
■ 精確度:50nm (2.0μ″)
■ 重復(fù)性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
■ 分辨率:5nm (0.2μ″)
■ 可測量工件尺寸:25mm-200mm
■ 動態(tài)測量范圍:>100um
■ 測量數(shù)據(jù)點:230,000 / measurement
■ 測量時間:5秒
■ 電源:~220V 50Hz
典型客戶:
國外:Honeywell Electronic Materials,SEI,Showa Denko,SESMI,Saint Gobain,Nikko Materials,Hitachi Cable,F(xiàn)reiberger Compound Materials,Crystal Tech,Samsung,LG,Crystalwise,Wafer Works……
國內(nèi):賽維,重慶四聯(lián),中電46所,山東大學(xué),大連理工大學(xué),半導(dǎo)體所,物理所,中科晶電,中科鎵英,云南藍晶,青島嘉星晶電,天科合達,大慶佳昌……