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上海森懋機械設(shè)備有限公司


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INFICON 反磁控皮拉尼真空計

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間:2023-11-18 12:55:23瀏覽次數(shù):145次

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商鋪產(chǎn)品:14條

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產(chǎn)品簡介

益處復(fù)合真空計–倒置磁控管與皮拉尼測量范圍廣

詳細介紹

益處

  • 復(fù)合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
  • 測量范圍廣,從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
  • 不會出現(xiàn)單絲燒毀的現(xiàn)象
  • 的點火屬性
  • 易于清潔
  • FPM 或金屬密封饋入裝置
  • 高壓 LED 指示燈
  • 對數(shù)模擬輸出信號

典型應(yīng)用

  • 高真空壓力監(jiān)控
  • 蒸發(fā)系統(tǒng)和濺射系統(tǒng)的基本壓力
  • 中高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制





    規(guī)格

    類型

    MPG400 FPM sealed

    MPG401 metal-sealed

    測量范圍(空氣,N2

    5 x 10-9 … 1000 

    5 x 10-9 … 1000 

    精度 (N2)

     

     

    1 x 10-8 … 100 毫巴

    % of reading

    ≈±30%

    ≈±30%

    可重復(fù)性

     

     

    1 x 10-8 … 100 毫巴

    % of reading

    ≈±5%

    ≈±5%

    安裝定位

    any

    any

    容許壓力

    bar (absolute)

    10 (limited to inert gases)

    10 (limited to inert gases)

    容許溫度

     

     

    運行(環(huán)境)

    °C

    +5 … +55

    +5 … +55

    貯存

    °C

    40 … +65

    40 … +65

    烘烤 (1)

    °C

    150

    150

    單絲溫度(皮拉尼)

    °C

    120

    120

    電源電壓

     

     

    真空計上

    V (dc)

    +15 … +30

    +15 … +30

    纜線更長的電源裝置 (2)

    V (dc)

    +16 … +30

    +16 … +30

    波紋

    V (p-p)

    1

    1

    功耗

    W

    2

    2

    可連接的保險絲

    AT

    1

    1

    輸出信號(測量信號)

     

     

    電壓范圍

    V

    … +10.5

    … +10.5

    測量范圍

    V

    +1.82 … +8.6

    +1.82 … +8.6

    電壓與壓強

    logarithmic, 0.6 volts per decade

    logarithmic, 0.6 volts per decade

    錯誤信號

     

     

    無電源

    V

    <0.5

    <0.5

    皮拉尼傳感器,單絲斷裂

    V

    >9.5

    >9.5

    輸出電阻

    2 x 10

    2 x 10

    更小負載電阻

    k

    10, short-circuit proof

    10, short-circuit proof

    反應(yīng)時間

     

     

    p > 10-6 毫巴

    ms

    <10

    <10

    p = 10-8 毫巴

    ms

    1000

    1000

    識別真空計

    85, referenced to supply common

    85, referenced to supply common

    狀態(tài)

     

     

    僅皮拉尼模式

    V

    0 (low)

    0 (low)

    復(fù)合皮拉尼 冷陰極模式

    V

    15 … 30 (high)

    15 … 30 (high)

    LED

    LED green

    high voltage on

    high voltage on

    電氣連接

    FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

    FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

    傳感器電纜

    8 poles plus shielding

    8 poles plus shielding

    電纜長度

    m

    50 (8 x 0.14 mm2)

    50 (8 x 0.14 mm2)

    運行電壓

    kV

    3.3

    3.3

    運行電流

    μA

    500

    500

    暴露于真空的材料

    stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

    stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

    內(nèi)部容積

    cm3

    20

    20

    重量

     

     

    DN 25 ISO-KF

    g

    700

    730

    DN 40 ISO-KF

    g

    720

    750

    DN 40 CF-F

    g

    980

    1010

    保護類別

    IP 40

    IP 40

    標(biāo)準(zhǔn)

     

     

    CE 合規(guī)

    EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

    EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

    1) 沒有電子和磁遮蔽。

    2) 必須根據(jù)傳感器電纜的長度按比例增加電源的**低電壓。


關(guān)鍵詞:真空計 傳感器
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