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上海唯科電氣有限公司
INFICON公司生產的BCG 450型B-A 皮拉尼電容薄膜真空計將三種不同的規管綜合在個小型經濟的規管中,測量過程壓強和基本壓強從5x10-10**1500毫巴(3.75X10-10**1125乇)。BCG450用于取代二種傳感器(熱離子,對流增強型皮拉尼和真空開關),從而節省成本和寶貴的空間。
INFICON(英福康)真空規/真空計
B-A 型皮拉尼電容膜片真空計
TripleGauge® BCG450
INFICON B – A 型皮拉尼電容薄膜真空計,BCG450,將三種不同的真空計
組合在一個小型,經濟的真空規管中,測量過程壓強和基本壓強 5 x 10-10
** 1500 毫巴 (3.75 x 10-10 ** 1125 乇). BCG450 用于取代三種傳感器
(熱離子,對流增強型皮拉尼和真空開關),從而節省成本和寶貴的工具空間.
優勢
■ BCG450 節省成本和設備空間,降低真空測量的安裝與設置的復雜性
■ 10 乇以上的與氣體類型無關的壓強測量,對許多混合氣體提供****的 自鎖控制
■ 皮拉尼聯鎖保護熱燈絲,防止過早燒毀
■ 自動的高真空和**壓皮拉尼調整,無需操作人員干預
■ 相對于**壓的差壓測量,免除了與**壓變化有關的不穩定性
■ 傳感元件容易**換,內置校準數據保證數據的再現性
■ 可選圖形顯示器和 Fieldbus 接口
用途
■ 半導體工藝,傳送和自鎖室的壓強測量
■ 工業鍍膜
■ 低****高真空范圍中系統的一般真空測量和控制
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