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LW400LJT

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西安測維光電技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡介

LW400LJT

詳細(xì)介紹

LW400LJT/LW400LMDT大平臺(tái)無窮遠(yuǎn)芯片檢查金相顯微鏡

大平臺(tái)無窮遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗(yàn)、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)。可進(jìn)行偏光與明視場、暗視場觀察轉(zhuǎn)換。專門設(shè)計(jì)的大移動(dòng)范圍載物臺(tái)，移動(dòng)范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動(dòng)格值:0.7μm。三目鏡筒，可進(jìn)行99%透光攝影。

標(biāo)準(zhǔn)配置

技術(shù)規(guī)格
目鏡	大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm)
無限遠(yuǎn)長距平場消色差物鏡	LW400LJT （配明場物鏡）	PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm
		PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm
		PL L20X/0.40 工作距離：8.80 mm
		PL L50X/0.70 工作距離：3.68 mm
		PL L80X/0.80 工作距離：1.25 mm
	LW400LMDT （配明/暗場物鏡）	PL L5X/0.12 BD 工作距離：9.70 mm
		PL L10X/0.25 BD 工作距離：9.30 mm
		PL L20X/0.40 BD 工作距離：7.23mm
		PL L50X/0.70 BD 工作距離：2.50 mm
		PL L80X/0.80 BD 工作距離：1.25 mm
目鏡筒	三目鏡30?傾斜, 可99%通光攝影
落射照明系統(tǒng)	LW400LJT	6V30W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
	LW400LMDT	12V50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
	內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm
轉(zhuǎn)換器	五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位)
載物臺(tái)	機(jī)械式載物臺(tái)，外形尺寸：280mmX270mm，移動(dòng)范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm