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臺(tái)階儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) ET200A

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更新時(shí)間：2023-01-15 08:34:16瀏覽次數(shù)：519次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

● ET200A臺(tái)階儀適用于二次元表面納米等級(jí)段差臺(tái)階測(cè)定、粗糙度測(cè)定。● ET200A臺(tái)階儀擁有高精度．高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，安定的測(cè)量過程及微小的測(cè)定力可對(duì)應(yīng)軟質(zhì)樣品表面。● 該型號(hào)臺(tái)階儀采用直動(dòng)式檢出器，重現(xiàn)性高。

詳細(xì)介紹

臺(tái)階儀ET200A產(chǎn)品參數(shù)

試片尺寸	Φ200mm×高度50mm
重現(xiàn)性	1σ ≤ 1nm
測(cè)定范圍	Z:600um X:100mm
分解能	Z:0.1nm X:0.1um
測(cè)定力	10UN~500UN (1mg-50mg)
載物臺(tái)	Φ160mm, 手動(dòng)360度旋轉(zhuǎn)

ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。