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蘭州真空設備有限責任公司
JT系列磁控濺射鍍膜機
型號項目 | JT-500 | JT-900 | JT-1400 |
真空室尺寸 mm | Φ500×520 | Φ900×1400 | Φ1400×1570 |
極限壓力 Pa | 5×10-3 | ||
工作壓力 Pa | 1.2×10-2 | ||
恢復真空時間 min | 15(從大氣~10-3Pa) | 20(從大氣~10-3Pa) | |
工件轉動 rpm | 10~15 | 公轉、自轉無級調速 | |
工作氣體 | Ar 純度99.99% | ||
功率 KVA | 10 | 30 | 55 |
冷卻水用量 t/h | 1 | 2 | 3 |
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