詳細摘要: NanoCam HD采用相移干涉技術(PSI),精度可達0.1nm;沿用4D技術公司的相位相關探測器的瞬時相移技術,可在振動環境下測量大口徑光學元件表面粗糙度。...
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詳細摘要: NanoCam HD采用相移干涉技術(PSI),精度可達0.1nm;沿用4D技術公司的相位相關探測器的瞬時相移技術,可在振動環境下測量大口徑光學元件表面粗糙度。...
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