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北京燕京電子有限公司
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法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經驗，其研發的KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列是一種基于UV LED的曝光機系統，結構緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預熱，也不需要單獨的冷卻單元。
KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列
圖片
簡介
法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經驗，其研發的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統，結構緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預熱，也不需要單獨的冷卻單元。另外，UV-KUB系列*的設計，保證了光源的準直性和均勻性，其小分辨率可達2μm，大發散角小于2°
本系統適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
規格參數
功能圖解
UV-KUB 2型光刻機，是市場上一款采用UV-LED光源系統的光刻機，其配備了基于LED光源的光學頭，使用壽命大大提高，結構小巧，性價比高，非常適合實驗室應用。
UV-KUB 3是一款帶對位功能的UV-LED曝光機，光源為365nm，其觸摸屏和CCD相機代替了傳統的顯微鏡及雙筒目鏡，控制器提供了圖像捕獲、測量以及對齊坐標的記錄等功能，可以實現預對準，這樣，用戶再通過操作手柄便能方便的進行終的對準操作。
UV-KUB 2
UV-KUB 3
應用系統
微流控芯片
MEMS器件
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