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LFS4001系列氣體質量流量傳感器

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更新時間:2023-06-15 21:41:36瀏覽次數:132次

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產品簡介

LFS4001系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體測量和過程控制而設計的,這一系列傳感器均采用微機電系統流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。

詳細介紹

LFS4001系列氣體質量流量傳感器

 

一、產品介紹

LFS4001系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體測量和過程控制而設計的,這一系列傳感器均采用微機電系統流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出,通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。

二、產品特點

■響應速度快

■低功耗、低壓損

■傳感器的零點穩定性高

■傳感器靈敏度高、有極小的始動流量

■全量程高穩定性、高精度度和優良的重復性

■在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高

■傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量。

三、技術參數

型號

LFS4001

單位

通徑

3.0

mm

流量范圍

30、100、200、500、1000

SCCM(毫升/分鐘)

量程比

100:1

 

精度

±1.5

%

重復性

0.25

%讀數

響應時間

4

工作電源

8-24VDC

 

輸出信號

0.5-4.5VDC、RS232

 

工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-5~+55

儲存溫度

-20~+65

連接方式

可拆卸的軟管接頭或根據客戶需求訂制

四、選型編碼

LFS4001-

□ - □ -  □            說           明

流量

30

 30 mL

100

 100 mL

200

 200 mL

500

 500 mL

1000

 1000 mL

輸出方式

C

RS232

V

模擬電壓(0.5-4.5VDC)

CV

RS232+模擬電壓(0.5-4.5VDC)

測量介質

A

空氣

C

 二氧化碳

E

 氦氣

H

 氫氣

N

 氮氣

O

 氧氣

R

 氬氣

注明:流量的單位為sccm,比如100代表流量為100sccm;對二氧化碳,流量可選30,100,200,500和750,不可選1000;傳感器的標準輸出為模擬電壓,RS232為選項。

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