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FS 多波長(zhǎng)橢偏儀

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Innovative˙Powerful˙Affordable設(shè)計(jì)創(chuàng)新˙功能強(qiáng)大˙經(jīng)濟(jì)實(shí)惠FilmSenseFS-1多波長(zhǎng)橢偏儀采用壽命長(zhǎng)LED光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測(cè)器,可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測(cè)量

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Innovative˙Powerful˙Affordable

設(shè)計(jì)創(chuàng)新˙功能強(qiáng)大˙經(jīng)濟(jì)實(shí)惠

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Film Sense FS-1™ 多波長(zhǎng)橢偏儀采用壽命長(zhǎng)LED光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測(cè)器,可在操作簡(jiǎn)單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可靠地薄膜測(cè)量。

大多數(shù)厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要簡(jiǎn)單的1秒測(cè)量,就可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測(cè)量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。

FS-1這款功能強(qiáng)大的多波長(zhǎng)橢偏儀,售價(jià)只是單一波長(zhǎng)橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室,超凈間,原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域

 

主要特點(diǎn)

4個(gè)LED光源:藍(lán)色(465nm),綠色(525nm),黃色(580nm),紅色(635nm

橢偏儀探測(cè)器中無(wú)可移動(dòng)部件

的膜厚精密性,大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于0.001nm1秒獲取數(shù)據(jù)),對(duì)于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

集成計(jì)算機(jī),可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析,自帶瀏覽器界面,可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī),筆記本或平板電腦

 


在線測(cè)量功能

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自動(dòng)Mapping系統(tǒng)

FS-1™多波長(zhǎng)橢偏儀,帶緊湊自動(dòng)mapping樣品臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)快速,準(zhǔn)確和可靠的薄膜均勻性測(cè)量。

QQ截圖20180524152548.png

 

軟件控制

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關(guān)鍵詞:橢偏儀
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