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3軸機械臂防水3軸圓柱坐標型晶圓搬運機械手臂

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更新時間：2024-06-12 08:20:48瀏覽次數(shù)：70次

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產(chǎn)品簡介

防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點：防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構）在保護等級IP64LSI半導體生產(chǎn)工藝條件下

詳細介紹

防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂特點：

防水3軸圓柱坐標型機械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉機構+邊緣夾持機構）

在保護等級IP64 LSI半導體生產(chǎn)工藝條件下，能夠在酸性，堿性環(huán)境下搬運半導體晶圓

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關節(jié)部位防水結構使用V型密封圈

零件之間的結合面采用Viton材質的密封條

Z軸的防水結構可以使用蛇腹管

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供的手指

防水3軸圓柱坐標型機械晶圓搬運機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達距離	312mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)
升降軸行程	200mm / 300mm
可搬運質量	3kg以下 (手臂第3關節(jié)處基準)

如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們

關鍵詞：監(jiān)視器步進電機



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