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山東新生泰水處理設備股份有限公司
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雙級反滲透+EDI
電子行業超純水系統
簡介
電子行業對水中的離子含量要求非常高,本系統采用的反滲透技術,結合EDI,混床技術,使產水水質可達18.25兆歐,水質符合美國ASTM標
準。目前我國電子工業部把電子級水質分為五個行業標準,分別為18Q·cm,
15Mg·cm,10MΩ·cm,2Mg·cm和0.5M·cm,以區分不同水質
技術參數:
產水水質:水質符合美國ASTM標準,電子工業部超純水水質標準18Mg·cm,
15MΩ·cm,10MQ·cm,2Mg·cm和0.5Mg·cm五級
產水水量:0.5-100T/H
材質:玻璃鋼 不銹鋼 有機玻璃等
工藝流程
預處理→反滲透→水箱→陽床→陰床→混床→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精制混床→精密過濾器→用水對象
2、預處理→一級反滲透→加藥泵(PH調節)→中間水箱→二級反滲透→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
3、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
主要特點
該系統動作均在預設程序下自動進行,具備全自動功能。
系統結構布置緊湊,有效節約空間。
系統能耗低,制水成本低廉
系統運行可靠,供水管路封閉,出水水質穩定。
適用范圍
生產半導體、光伏太陽能、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業用超純水系統.
中國電子行業超純水標準
（GB/T11446.1-1997）
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