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科邁斯科技股份有限公司
特色紅外加熱式熱脫附質譜儀TDS1200Ⅱ是利用質譜儀在超高真空中,通過程序升溫實時觀察樣品脫附逸出的化合物
項目 | 規格 |
---|---|
真空壓力 | 主腔體 <5*10-7 |
樣品尺寸 | 15*15*4 mm |
溫度范圍 | 50-1200℃ |
升溫速率 | 1-180℃/min |
偵測器 | QMS |
感度 Ar | 1*1011 Ar/s (S/N=3) |
軟件 | TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV |
?熱附脫質譜TDS應用硅晶圓逸散氣體分析
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