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洛陽市博萊曼特試驗(yàn)電爐有限公司


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石墨烯生長爐(PECVD)

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更新時(shí)間:2022-11-30 17:19:58瀏覽次數(shù):530次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品說明:   石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,在真空可以達(dá)到10…

詳細(xì)介紹

  產(chǎn)品說明:

  石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,在真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

  軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出。

  一:基本參數(shù):

  1:加熱爐部分

  2:爐膛模式開啟式爐膛

  3:顯示模式觸摸屏

  4:溫度1400℃

  5:工作溫度≤1350℃

  6:升溫速率建議10℃/Min Max:30℃/Min

  7:預(yù)熱溫區(qū)長度150mm

  8:主溫區(qū)長度300mm

  9:預(yù)熱溫區(qū)移動(dòng)手動(dòng)移動(dòng)

  10:主溫區(qū)移動(dòng)自動(dòng)移動(dòng),速度可以設(shè)定

  二:設(shè)備特點(diǎn):

  1:設(shè)備規(guī)格2000*85*1400mm(長*寬*高)

  2:爐管長度2000mm

  3:控溫精度±1℃

  4:密封方式快速法蘭密封

  5:溫度曲線30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

  6:預(yù)存曲線可預(yù)存15條溫度曲線

  7:超溫報(bào)警有

  8:過流保護(hù)有

  9:斷偶提示有

  10:測(cè)溫元件s型熱電偶

  11:爐膛材料氧化鋁纖維

  12:射頻電源功率

  13:信號(hào)頻率13.56 MHz±0.005%

  14:功率輸出范圍5W-500W

  15:功率穩(wěn)定度±0.1%

  16:諧波分量≤-50dbc

  17:供電電壓單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

  18:整機(jī)效率>=70%

  19:功率因素>=90%

  20:冷卻方式強(qiáng)制風(fēng)冷

  真空部分

  1:工作電電壓220V±10%50~60HZ

  2:功率500瓦

  3:抽氣速率4L/s

  4:進(jìn)氣口口徑KF25

  5:排氣口口徑KF25

  6:轉(zhuǎn)速1450rpm

  7:噪音55dB

  9:真空4X10-2Pa

  氣路系統(tǒng)

  1,2,3,4氣路采用DB07系列

  準(zhǔn)確度:±1.5%

  重復(fù)精度:±0.2%

  響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

  工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

  整機(jī)系統(tǒng)特色

  正壓測(cè)量-100Kpa---100Kpa

  真空測(cè)量-100Kpa

  超壓保護(hù)超壓保護(hù)值可以設(shè)定

  壓力恒定恒定壓力值可以設(shè)定

  智能氣路氣路系統(tǒng)可以編程

  氣路定時(shí)通氣時(shí)間可以設(shè)定

  射頻工作時(shí)間設(shè)定輝光放電時(shí)間可以設(shè)定,自動(dòng)關(guān)機(jī)

  移動(dòng)速度調(diào)節(jié)移動(dòng)速度可以設(shè)定

  系統(tǒng)真空度5Pa


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