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萬濠AE-100E 白光干涉儀

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產品型號AE-100E

品牌

廠商性質生產商

所在地常州市

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更新時間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數：951次

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常州銳品精密儀器有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：2569條

所在地區：江蘇常州市

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產品簡介

結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含

詳細介紹

AE-100
產品用途
結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含
產品特點
● 奈米深度3D檢測 ● 高速/無接觸量 ● 表面形狀/粗糙度分析 ● 非透明/透明材質皆適用 ● 非電子束/非雷射的安全量測 ● 低維護成本
專業級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析 ● 提供自動表面平整化處理功能 ● 提供高階標準片的軟件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式 ● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度 ● （waviness）的測量分析?？商峁┒噙_17種的ISO量測參數與4種額外量測數據（Wafer） ● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。 ● 具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能。 ● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解體軟體（ImaScan）
● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋 ● 垂直高度可達0.1nm ● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果 ● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇 ● 平臺XYZ位置數顯示，使檢標的尋找快速又便利 ● 具有手動/自動光強度調整功能以取得*的干涉條紋對比。 ● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。 ● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。 ● 具有自動布補點功能 ● 可自行設定掃描方向
技術規格參數
型號	AE-100M
移動臺（mm）	平臺尺寸100100 ，行程1313
物鏡放大倍率		10X	20X	50X
觀察與量測范圍		0.43*0.32	0.21*0.16	0.088*0.066
光學分辨力（um）		0.9	0.69	0.5
收光角度（Degrees）		17	23	33
工作距離		7.4	4.7	3.4
傳感器分辨率	640*480像素
機臺重量（kg）/載重kg	20kg/小于1kg
Z軸移動范圍	45mm , 手動細調
Z軸位置數字顯示器	分辨率1um
傾斜調整平臺	雙軸/手動調整
	高度測量
測量范圍	100（um）（400um ,選配）
量測分辨力	0.1mm
重復精度	≤ 0.1％（量測高度:>10um） ≤10um（量測高度1um 10um） ≤ 5nm（量測高度:<1um ）
量測控制	自動
掃描速度（um/s）	12（zui高）
	光源
光源類型	儀器用鹵素（冷）光源
平均使用壽命	1000小時100W 500小時（150W）
光強度調整	自動/手動
	數據處理與顯示用計算器
*處理運算屏幕	雙核心以上CUP
影像與數據顯示屏幕	17 " 雙晶屏幕
操作系統	Windows XP（2）
電源與環境要求	AC100 --240 V 50-60Hz
環境震動	VC-C等級以上
	量測與分析軟件
量測軟件	ImScan量測軟件具VSI/ PVS/PSI 量測模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配） PosTopo 分析軟件
分析軟件	ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利業轉換和濾波，多樣的2D和3D 觀測視角圓，外形/面積/體積分析，圓像縮放、標準影像文件格式轉換報表輸出，程序教導量測等。