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RX-MFM氣體質量流量控制器

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更新時間:2023-04-03 19:55:00瀏覽次數:221次

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產品簡介

產品概述采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS(Microelectromechanicalsystems)氣體質量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制

詳細介紹

產品概述

       采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

       該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,不用溫度壓力補償。


產品特點

1、產品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現自動調節、控制閥門。

2、μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度提升。

3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現微小流量測量的數字化。

4、單個芯片的流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍提高。

5、機電—體化優化設計,智能化的數據處理技術,使流量計具有好的重復性,實現了計量的準確。

5、結構的優化,MFM流量計的壓力損失達到小化。

6、采用MF傳感技術,使流量計工作穩定。

7、零點自校功能,測量準確。

8、多種氣體實際標定,全量程補償。

9、快速響應、數據自動存儲,配合上位機可實現網絡集中管理。  

10、規格全,量程范圍寬,可根據用戶要求單獨標定。

11、精度等級高。

12、流量計報警功能,使監控可靠。

13、操作、設置界面友好、簡便,可根據需要自行設定相關參數。

      14、運用行業多,是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的選擇。


產品參數

測量介質:各氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

流量范圍:  DN3 10-100ml/min  

            100-1000ml/min

            DN4   250-2500ml/min

            DN6   1000-10000ml/min

            DN8   1500-15000ml/min

            DN10  2500-25000ml/min   

            DN18   10-100SLM       

            注:(a)以上 流量的測量介質為空氣而言;

(b)以上 流量的標準狀態20℃,101.325kPa。

(c) 每個口徑量程范圍均可擴大

(d)特殊需要可聯系廠家單獨標定

2.3   流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS

2.4   工作溫度范圍:0-55℃;

2.5   工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa

2.6   供電電源:24VDC±10%;

2.7   輸出信號:4-20mA,RS485通訊;

2.8   環境溫度:0-55℃;

2.9   顯示位數:瞬時流量為三位,累積流量10位。 


服務介紹

1、對本公司產品實行負責制,提供技術支持和技術服務;

2、對產品質量實行三包,質保期3年;

3、免費對用戶的工程技術人員就產品的使用、維護及一般的故障處理等方面進行培訓;

4、指導客戶安裝調試;

5、定期對用戶進行回訪和技術交流;

6、優先對項目用戶提供產品和技術交流;

7、免費提供產品資料和說明書。

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