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北京中科科美科技股份有限公司
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更新時間：2023-12-23 12:30:57瀏覽次數(shù)：119次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線倍增級磁控鍍膜機(jī)主要應(yīng)用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進(jìn)行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進(jìn)行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù)，達(dá)到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
倍增級磁控鍍膜機(jī)主要應(yīng)用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進(jìn)行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進(jìn)行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù)，達(dá)到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
性能參數(shù)：
1）、磁控靶沉積單金屬銻；
2）、腔體內(nèi)腔尺寸：Φ600x420；
3）、具備偏壓清洗及輔助沉積功能；
4）、極限真空；5.0x10-5Pa（從常溫、氮氣破真空狀態(tài)下抽限真空度時長≤4小時）；
5）、工作真空度：工作腔體真空度優(yōu)于2.0×10-2Pa（腔體加熱至300℃狀態(tài)下抽至工作真空度時長≤0.5小時）；
6）、烘烤溫度max 300℃，常溫狀態(tài)升溫至300℃時長≤20分鐘，溫度測試精度≤±2℃。
7）、工件架：運行平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)0.5-5rpm；
8）、產(chǎn)能約700件/日；
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