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微小型熱式氣體質(zhì)量流量計

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更新時間:2023-02-16 15:46:46瀏覽次數(shù):253次

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產(chǎn)品簡介

微小型熱式氣體質(zhì)量流量計關(guān)鍵字:流量計,孔板流量計,浮子流量計,傳感器,質(zhì)量流量計,,,,,,,一、產(chǎn)品概述采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS(Microelectromechanicalsystems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器

詳細介紹

微小型熱式氣體質(zhì)量流量計
關(guān)鍵字:流量計,孔板流量計,浮子流量計,傳感器,質(zhì)量流量計,,,,,,,

                                                                                                                                                                   

                                                                                                                                            

 

 

 

 

一、 產(chǎn)品概述
 
采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS Microelectromechanical systems氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償


二、技術(shù)參數(shù)


2.1 測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2   流量范圍:  DN3   30-300ml/min

                            DN6   60-600ml/min

                            DN8   80-800ml/min

                            DN10 100-1000ml/min            

                         注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;

                                (b)以上流量的標準狀態(tài)20℃,101.325kPa

                                (c) 每個口徑量程范圍均可擴大

                                (d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定

2.3   流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍:0-55℃;
2.5   工作壓力范圍:0.3MPa0.6MPa1.0MPa
2.6   供電電源:24VDC±10%
2.7   輸出信號:4-20mARS485通訊;
2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9   顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。
 

三、    工作原理


 uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作,保證傳感器的高度一致,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性,導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴,大規(guī)模應(yīng)用比較難的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計,同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。


在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:



 

式中:氣體流動方向為,速度為v,a為擴散率。          
                   如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。



四、產(chǎn)品特點
 

1、產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
2μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù),使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優(yōu)化設(shè)計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計具有更好的重復(fù)性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,MFM流量計的壓力損失達到最小化。
7、采用新的MF傳感技術(shù),使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
8、零點自校功能,測量更準確。
9、多種氣體實際標定,全量程補償。
10、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
11、規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨標定。
12、精度等級高,滿足用戶高精度測量要求。
13、的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠。
14、操作、設(shè)置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
15、運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。


 、產(chǎn)品分類與命名    


微氣體質(zhì)量流量計的型號命名


MF?

?

?

?

?

?

?

?

?

?

 

 

 

 

 

 

 

 

 

接頭類型

 

0:普通

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1Swagelok接頭

 

 

 

 

 

 

 

 

2:其他

 

 

 

 

 

 

 

 

連接形式

 

0:快速接頭

 

 

 

 

 

 

 

1:法蘭式

 

 

 

 

 

 

 

標定方式

 

0:空氣

 

 

 

 

 

 

 

1:氫氣

 

 

 

 

 

 

 

2:氧氣

 

 

 

 

 

 

3:氮氣

 

 

 

 

 

 

品種

 

01:有顯示;有485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

02:有顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

03:有顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

04:有顯示;無485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

05:無顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

06:無顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

材質(zhì)

 

0304不銹鋼

 

 

 

 

 

1316不銹鋼

 

 

 

 

 

2316L不銹鋼

 

 

 

 

 

3:鋁

 

 

 

 

 

4:其他

 

 

 

 

壓力

 

0≤0.3Mpa

 

 

 

 

1≤0.6Mpa

 

 

 

 

2≤1.0Mpa

 

 

 

被測介質(zhì)

 

 

流量范圍

 

產(chǎn)品通徑

 

03DN3

 

06DN6

 

08DN8

 

10DN10

產(chǎn)品類型

 

M:質(zhì)量流量計

C:質(zhì)量流量控制器


 

六、安裝與接線
 

7.1       安裝注意事項
                               安裝時必須注意場合,不能安裝于管路有雜質(zhì)的地方;


                                安裝時應(yīng)使流量計上的流向標志所示方向與流體流動方向一致;


 7.2   上游管道應(yīng)有10DD為管道內(nèi)徑)的直管段,下游應(yīng)有5D的后直管;


 7.3   儀表安裝處的管道內(nèi)應(yīng)光滑清潔,無突出,流量調(diào)節(jié)閥應(yīng)安裝在流量計的下游;


 7.4   儀表水平安裝,安裝使用中嚴防漏氣;


 七、儀表的機械尺



 


 

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2


 

 
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