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上海慕溯工業設備有限公司
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SEM-N系列聚酰亞胺固化
SEM-N系列聚酰亞胺固化烤箱是一種清潔工藝烘箱，專為聚酰亞胺硬烘烤和固化應用而設計。
許多半導體制造環境的前端機器適用于聚酰亞胺固化。
這種昂貴的工藝導致設備在清潔度，惰性氣氛能力，循環時間或數據采集方面通常不適合聚酰亞胺固化。
SEM-N系列烤箱優化了半導體的聚酰亞胺固化工藝
晶圓器件。它可以縮短周期時間，并為產品負載中的所有晶圓提供一致，可重復的固化過程。我們為SEM-N系列烤箱設計了一個壓力釋放系統，該系統包括一個可拆卸的“冷阱"，一個易于清潔的冷凝水收集器，有助于防止聚酰胺在爐內排氣中積聚。
u 再循環空氣100％通過99.99％HEPA過濾器過濾，用于ISO 5級（100級）或高的操作
u 集成的PC 接口，具有實時圖形顯示功能
u 氧氣監控系統
u 16千瓦加熱器容量
u 自動水控制，帶不銹鋼水冷盤管
u 溫度可達（450°C）
u 快速循環時間，每分鐘5°C
u 溫度均勻性為±1％
u 每層23千克
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