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北京銘成基業科技有限公司
EZ4小巧型勻膠機在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
產品介紹:
名 稱:高精密勻膠機
型 號:EZ4
原產地:美國,USA
應 用:在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
產品概述:
EZ4勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業級直流馬達和單片機控制,文本顯示器人機界面。
EZ4勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼,PP材料內腔,經久耐用。
性能參數:
l 支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圓晶)
l 速度可調范圍:100-10000rpm
l 加速度可調范圍:100-10000rpm/s
l 轉速分辨率:1rpm
l 轉速精度:<±5rpm
l 可編程5組5步程序
l 寬電壓輸入:AC100-230V
產品特點:
l 75W 直流無刷電機,單片機控制
l 高清晰文本顯示器
l 可單步和多步勻膠操作
l PP耐腐蝕內腔,可更換
l 鋁合金陽極氧化外殼,美觀大方
l 耐溶劑PC透明蓋
l 多角度定位鉸鏈設計
l HDPE真空吸盤
產品外型尺寸:
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)
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