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掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15

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產(chǎn)品簡介

掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15
Hitachi的掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15 不僅可在真空下，還可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
含水樣品也無需前處理即可直接觀察

詳細(xì)介紹

掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15特色

含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
從低真空到大氣壓（數(shù) Pa～105 Pa），可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector（電子束散射校正）圖像改善功能
在真空模式下，除了通常的SEM觀察之外，還可進(jìn)行EDX分析（選配）
主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
無需等待抽真空時(shí)間，快速實(shí)現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程
概要

大氣壓觀察（圖1）

樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下（105 Pa）
配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離，在保持SEM內(nèi)部真空的同時(shí)，可對樣品進(jìn)行電子束照射觀察
而且，可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下（約103～105 Pa）進(jìn)行觀察

低真空觀察（圖2）

隔膜可拆卸，還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
搭載了日立臺(tái)式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器

圖1：大氣壓或負(fù)壓觀察時(shí)

圖2：低真空觀察時(shí)

掃描電子顯微鏡 AeroSurf 15規(guī)格

項(xiàng)目	內(nèi)容
電子槍	預(yù)對中燈絲
檢測系統(tǒng)	高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器
加速電壓	5 kV/15 kV
倍率	×15～×60,000（使用數(shù)碼變焦時(shí)：×240,000）
觀察壓力	大氣壓模式（105 Pa）（裝有隔膜時(shí)）
	負(fù)壓模式（約103 Pa～105 Pa）（裝有隔膜時(shí)）
	低真空模式（數(shù) Pa～數(shù)10 Pa）（拆下隔膜時(shí)）
大樣品尺寸	直徑55 mm
大小和重量	主機(jī)：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手動(dòng)操作臺(tái)）控制裝置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2臺(tái)

應(yīng)用實(shí)例
材料領(lǐng)域

含水再生纖維素纖維的干燥動(dòng)態(tài)觀察

樣品提供：旭化成株式會(huì)社乙部先生

將浸水的纖維先在40 kPa下緩慢自然蒸發(fā)多余水分，然后在大氣壓下進(jìn)行了觀察。
首先觀察到纖維之間的水分蒸發(fā)，然后是纖維內(nèi)部的水分蒸發(fā)，并因此纖維本身收縮，后是整個(gè)樣品收縮的情景。
根據(jù)此觀察的結(jié)果以及纖維干燥時(shí)和含水時(shí)的直徑測試結(jié)果，得出含水時(shí)膨脹30%，和含水時(shí)的纖維膨脹率。

ZEPTORON PP（聚丙烯納米纖維）的經(jīng)時(shí)觀察

試樣提供：Zepto Co., Ltd.

在疏水性優(yōu)異的此樣品中，可看到油滲入纖維內(nèi)，水分不會(huì)滲入，所以可觀察到水分在纖維上的情景。

植物領(lǐng)域

花粉

光學(xué)顯微鏡觀察后，無需干燥處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察。

杜鵑花花粉

食品領(lǐng)域

味噌（自家制）

干燥的意大利面

在大氣壓下觀察干燥的意大利面的表面后，在真空中觀察同一樣品，可觀察到表面有大量裂紋。
推測是在真空環(huán)境下，樣品內(nèi)部的水分和空氣蒸發(fā)時(shí)將試樣表面破壞，即使是干燥的樣品，如果想觀察本來的形狀，通過大氣壓SEM進(jìn)行觀察是一種有效的方法。

生物領(lǐng)域