污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
特 色 ① SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察 | |
■ 樣品臺可搭載超大/超重樣品 ● 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品 ● 選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品, 大大提高了工作效率 ● 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度* ● 紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性
■ 支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察 ● 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機 ● 覆蓋整個可觀察區(qū)域 ● 支持360度旋轉(zhuǎn) | |
② 隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。 | |
■ 一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI ■ 各種自動化功能 ● 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例) ● 提高了自動聚焦精度 ● 搭載Intelligent Filament Technology(IFT) ■ Multi Zigzag,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察 ■ Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告 | |
③ 可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案 | |
■ 可滿足多種觀察需求的探測器 ● 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察 ● 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像
■ 配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件 >■ SEM/EDS一體化功能* ■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D* ■ 支持圖像測量軟件Image pro *配件 | |
① 多功能超大樣品倉
① 標(biāo)配多功能超大樣品倉,支持大型樣品分析■ 樣品臺可搭載超大/超重樣品 | |
● 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品 樣品或者是超大樣品,也能夠輕松更換。
● 樣品交換倉* ● 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度* ● 紅外CCD探測器*,提高了樣品臺移動的安全性 *配件 ■ 支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察● 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機
● 覆蓋整個可觀察區(qū)域 相機導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域為直徑130mm(SU3800)/ 直徑200mm(SU3900),并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動,移動到大型樣品的觀察區(qū)域。
● 支持360度旋轉(zhuǎn) SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系,因此在觀察高度差大的樣品時,可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或 電子束來獲得的觀察分析位置,避免陰影效應(yīng)造成的影響。
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② 各種自動化功能
② 隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。■ 一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI搭載了簡約UI,簡單操作,如同觸屏般直觀。 ● 從移動樣品臺到樣品觀察,輕輕點擊鼠標(biāo)即可實現(xiàn) ● 也可觸屏操作 ● 主窗口為1280x960像素的大窗口 ● 可以切換顯示模式,并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號
■ 各種自動化功能● 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例) ● 采用了新的算法,提高了自動聚焦精度
● 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
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■ Multi Zigzag*,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像,并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像,創(chuàng)建大視野圖像。 *配件
● Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告 創(chuàng)建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯。 | |
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③ 測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器
③ 可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案■ 可滿足多種觀察需求的探測器● 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察 ● 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像。 | |
通過采用4分割+1單元的設(shè)計,對每個單元進(jìn)行計算,無需傾斜樣品,即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設(shè)計十分精巧,且靈敏度高,實現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。 | |
■ 配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察。
■ SEM/EDS一體化功能*SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能,通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全面控制,可以提高測試效率,減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)。
■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當(dāng)中的4個不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析,生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易表面粗糙度(面粗糙度、線粗糙度)測量。可一次性接收四個不同方向的信號,因此,無需傾斜樣品臺或合成圖像。 | |
■ 支持圖像測量軟件Image proSU3800 / SU3900搭載了IPI,可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下,即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。
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④ 觀察分子案例
礦物的觀察分析案列顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯濃度較高的區(qū)域。 | |
⑤ 應(yīng)用圖例
金屬材料
陶瓷材料
電子零件
生物/醫(yī)藥品
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規(guī)格
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ITEM | SU3800 | SU3900 | |
二級電子分解能 | 3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射電子分解能 | 4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(實際顯示倍率*2) | |||
加速電壓 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度設(shè)定 | 6~650 Pa | ||
圖像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
樣品臺 | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°連續(xù) | ||
T | -20°~+90° | ||
可觀察范圍 | 130mm直徑(R并用) | 200mm直徑(R并用) | |
可觀察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
電機驅(qū)動 | 5軸電機驅(qū)動 | ||
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
物像鏡頭光圈 | 4孔可動光圈 | ||
檢測系統(tǒng) | 二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
圖像顯示 | 自動光軸調(diào)整功能 | 自動光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自動光軸調(diào)整(實時級別對齊) | |||
自動調(diào)整光束亮度 | |||
自動圖像調(diào)整功能 | 自動亮度和對比度控制(ABCC) | ||
自動對焦控制(AFC) | |||
自動標(biāo)記和焦點功能(ASF) | |||
自動燈絲飽和度調(diào)整(AFS) | |||
自動光束對準(zhǔn)(ABA) | |||
自動啟動(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作輔助功能 | 光機旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點對點測量、角度測量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能 | ||
配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器(UVD)、紅外CCD探測器、攝像機導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部裝置) | 能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、 各種外部功能臺(加熱臺、冷卻臺、牽引臺) |
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。 * 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。 |