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掃描電子顯微鏡 SU3800

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產(chǎn)品型號SU3800

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2023-10-18 09:07:34瀏覽次數(shù):161次

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產(chǎn)品簡介

簡要描述:集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身;日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結(jié)合眾多的自動化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察。

詳細(xì)介紹

特 色

① SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察

■ 樣品臺可搭載超大/超重樣品

 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品

 選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,

   大大提高了工作效率

 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*

 紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性

 

■ 支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機

 覆蓋整個可觀察區(qū)域

 支持360度旋轉(zhuǎn)

 

② 隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

■ 一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

■ 各種自動化功能

 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

 提高了自動聚焦精度

 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)

■ Multi Zigzag,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■ Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告

 

③ 可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■ 可滿足多種觀察需求的探測器

 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察

 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像

 

■ 配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件

>■ SEM/EDS一體化功能*

■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■ 支持圖像測量軟件Image pro

*配件

   

 

① 多功能超大樣品倉

 

① 標(biāo)配多功能超大樣品倉,支持大型樣品分析

  ■ 樣品臺可搭載超大/超重樣品

 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
   GUI上顯示更換樣品的操作步驟。可以避免因人為的誤操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的

   樣品或者是超大樣品,也能夠輕松更換。

● 樣品交換倉*
   選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率

 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
   SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式,開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷,自由移動樣品臺。
   ※選擇樣品臺自由模式時,請同時選配紅外CCD探測器。

 紅外CCD探測器*,提高了樣品臺移動的安全性
   紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機,可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情     況。為了獲得更詳細(xì)的位置,放大CCD圖像,并且移動觀察位置。

*配件

■ 支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機
   與GUI聯(lián)合的SEM MAP,正是因為采用了樣品倉室導(dǎo)航相機,才得以實現(xiàn)廣角相機導(dǎo)航功能*。
在SEM MAP上觀察     目標(biāo)位置,可以順利地移動到任意位置上。使用大視野相機導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像,通過自由放大或縮小       圖像,可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。

*配件

 

● 覆蓋整個可觀察區(qū)域

   相機導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域為直徑130mm(SU3800)/ 直徑200mm(SU3900),并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動,移動到大型樣品的觀察區(qū)域。

 

● 支持360度旋轉(zhuǎn)

   SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系,因此在觀察高度差大的樣品時,可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或

   電子束來獲得的觀察分析位置,避免陰影效應(yīng)造成的影響。

   

 

② 各種自動化功能

 

② 隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

  ■ 一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

  搭載了簡約UI,簡單操作,如同觸屏般直觀。

● 從移動樣品臺到樣品觀察,輕輕點擊鼠標(biāo)即可實現(xiàn)

● 也可觸屏操作

● 主窗口為1280x960像素的大窗口

● 可以切換顯示模式,并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號

 

  ■ 各種自動化功能

● 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
   樣品安裝完成后,通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像,隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用全新設(shè)計的演算程序,在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時,等待時間縮短到以往的1/ 3以下。

● 采用了新的算法,提高了自動聚焦精度
 全新升級的自動聚焦調(diào)整功能,即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品,也能夠輕松得到良好的圖像。

● 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
   自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài),自動控制使其一直處于性能的狀態(tài)。
   搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏。
   通過該功能,使得原來難以對應(yīng)的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實現(xiàn)

 

  ■ Multi Zigzag*,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像,并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像,創(chuàng)建大視野圖像。

*配件

● Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
   在Report Creator中,可以將SEM圖像,EDS數(shù)據(jù)和CCD相機圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合,生成報告。

   創(chuàng)建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯。

 

 

 

③ 測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器

 

③ 可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

  ■ 可滿足多種觀察需求的探測器

● 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
   SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外,還可以通過檢測電子束照射樣品     而產(chǎn)生的陰極熒光,來獲取CL信息。

● 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像。

通過采用4分割+1單元的設(shè)計,對每個單元進(jìn)行計算,無需傾斜樣品,即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設(shè)計十分精巧,且靈敏度高,實現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。

  ■ 配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件

  SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察。

  ■ SEM/EDS一體化功能*

SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能,通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全面控制,可以提高測試效率,減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)。

 

■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當(dāng)中的4個不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析,生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易表面粗糙度(面粗糙度、線粗糙度)測量。可一次性接收四個不同方向的信號,因此,無需傾斜樣品臺或合成圖像。

 

■ 支持圖像測量軟件Image pro

SU3800 / SU3900搭載了IPI,可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下,即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。

 

 

 

④ 觀察分子案例

 

礦物的觀察分析案列

顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯濃度較高的區(qū)域。

   

⑤ 應(yīng)用圖例

 

金屬材料

陶瓷材料

電子零件

生物/醫(yī)藥品

 

   

規(guī)格

 

 

ITEM SU3800 SU3900
二級電子分解能 3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式)
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式)
背散射電子分解能 4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式)
倍率 ×5~×300,000(照片倍率*1)
×7~×800,000(實際顯示倍率*2)
加速電壓 0.3kV~30kV
低真空度設(shè)定 6~650 Pa
圖像位移 ±50µm(WD=10mm)
樣品尺寸 200mm直徑 300mm直徑
樣品臺 X 0~100mm 0~150mm
Y 0~50mm 0~150mm
Z 5~65mm 5~85mm
R 360°連續(xù)
T -20°~+90°
可觀察范圍 130mm直徑(R并用) 200mm直徑(R并用)
可觀察高度 80mm(WD=10mm) 130mm(WD=10mm)
電機驅(qū)動 5軸電機驅(qū)動
電子光學(xué)系統(tǒng) 電子槍 中心操控式鎢絲發(fā)射
物像鏡頭光圈 4孔可動光圈
檢測系統(tǒng) 二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析WD WD=10mm(T.O.A=35°)
圖像顯示 自動光軸調(diào)整功能 自動光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC)
自動光軸調(diào)整(實時級別對齊)
自動調(diào)整光束亮度
自動圖像調(diào)整功能 自動亮度和對比度控制(ABCC)
自動對焦控制(AFC)
自動標(biāo)記和焦點功能(ASF)
自動燈絲飽和度調(diào)整(AFS)
自動光束對準(zhǔn)(ABA)
自動啟動(HV-ON→ABCC→AFC)
操作輔助功能 光機旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點對點測量、角度測量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能
配件 ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器(UVD)、紅外CCD探測器、攝像機導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件(外部裝置) 能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、
各種外部功能臺(加熱臺、冷卻臺、牽引臺)

* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。

* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。

關(guān)鍵詞:壓縮機
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