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SEC-400MK3質量流量控制器

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產品簡介

概要MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下實現成本降低的量產產品

詳細介紹

概要

MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現了大幅度的成本降低。于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

特征

搭載熱感閥
追求成本優勢、實現成本降低

規格

SEC-400MK3

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)