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小型真空電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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更新時(shí)間:2023-11-10 12:11:57瀏覽次數(shù):164次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備用途:利用電阻加熱產(chǎn)生熱能,將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華,使之在基片表面析出的過程

詳細(xì)介紹

設(shè)備用途

利用電阻加熱產(chǎn)生熱能,將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華,使之在基片表面析出的過程。用于制備各類金屬膜等,廣泛應(yīng)用千大專院校、科研機(jī)構(gòu)的科研及小批量的生產(chǎn)。
主要技術(shù)指標(biāo)
真空指標(biāo)
極限真空度:≤7x10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后);
系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;
系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂?,再開始抽氣,40分鐘可達(dá)到3x10-3 Pa;
停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤20Pa;
真空室
真空室尺寸:Φ300 X 365mm, 上開蓋結(jié)構(gòu),上面焊有觀察窗,放氣閥、膜厚儀等法蘭接口。選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造,氬弧焊接,表面特殊工藝處理。內(nèi)壁掛防污板。
樣品
樣品盤上可承裝Φ150mm以下樣品 ,樣品盤轉(zhuǎn)速10—60轉(zhuǎn)/分, 轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)。電動(dòng)控制擋板一套;
真空獲得及測(cè)量
分子泵+機(jī)械泵,數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)(皮拉尼規(guī)+電離規(guī))
蒸發(fā)舟
兩個(gè)蒸發(fā)舟,10CC
蒸發(fā)電源
3KW,帶有微調(diào)功能
控制系統(tǒng) 
手動(dòng)
工作壓力控制系統(tǒng)
手動(dòng)
水冷機(jī)組
可選
石英晶振膜厚儀
可選

關(guān)鍵詞:放氣閥 真空計(jì)
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