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類型 8715 - 氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器 (Mass Flow Controller)

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更新時間：2022-12-16 13:06:01瀏覽次數(shù)：347次

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產(chǎn)品簡介

型號8715是一臺用于調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量的裝置，它需要一個與介質(zhì)相分離的傳感器

詳細(xì)介紹

型號 8715 是一臺用于調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量的裝置，它需要一個與介質(zhì)相分離的傳感器。在數(shù)字的電子調(diào)節(jié)設(shè)備中，會將傳感器提供的實際值與規(guī)定的額定值進行比較；存在調(diào)節(jié)偏差時，會通過一種 PI 調(diào)節(jié)算法對發(fā)送到比例閥上的調(diào)節(jié)參數(shù)進行修改。這樣一來，就可以將質(zhì)量流量保持在一個確定的數(shù)值上，或使其遵循規(guī)定的曲線輪廓，而不會受到壓力波動或設(shè)備中其他變化的影響。可針對兩種不同的氣體對型號 8715 進行校準(zhǔn)，用戶可在兩者之間進行轉(zhuǎn)換。一個直動式比例閥作為調(diào)節(jié)元件，確保了高反應(yīng)靈敏度和裝置良好的調(diào)節(jié)特性。通過數(shù)字方式與更高一級的設(shè)備進行通訊，這樣一來，就可以省去額外的 D/A 轉(zhuǎn)換。
采用毛細(xì)管技術(shù)的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
適合侵蝕性氣體
緊湊型版本和數(shù)字通訊

關(guān)鍵詞：傳感器

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