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光譜反射計

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更新時間:2024-05-24 09:04:59瀏覽次數:80次

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產品簡介

產品介紹:薄膜厚度測量和反射計系統SR100通過測量反射光譜,結合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜性質

詳細介紹

產品介紹:

薄膜厚度測量和反射計系統SR100通過測量反射光譜,結合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜性質。TFProbe系列光譜反射工具具有許多特點,如長工作距離、工作距離可調、大平臺尺寸、可選擇的光源和可調光源強度等。簡單的附加功能也可選,如傳輸、曲面測量適配器、多通道、大或小光束設置等等

產品參數:

波長范圍

25-~1100nm

現貨尺寸

500μm~5mm

樣品尺寸

直徑200*200mm或200mm

底材尺寸

厚度可達50mm

可測量厚度范圍

50μm

測量時間

2ms最小

精度

優于0.25%

重復性

<1A

主要應用:

太陽能電池中的薄膜

光刻膠,聚酰亞胺,氧化物,氮化物

光學涂層,TiO2,SiO2,Ta2O5 ...

半導體化合物,電池間隙

MEMS / MOEMS中的功能性薄膜

薄膜晶體管(TFT)堆疊

導電氧化物:氧化銦錫

在上涂層


關鍵詞:電池
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