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廣州安特激光技術有限公司
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產品介紹：SRM通過測量反射光譜,結合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜厚度均勻性及其光學特性
產品介紹：
SRM通過測量反射光譜,結合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜厚度均勻性及其光學特性。如果在低預算的情況下需要對已知膠片或簡單膠片進行快速、常規、日常測量，那么SRM系列是的選擇。
tfprobe系列光譜反射映射工具，具有許多特點，如長工作距離，工作距離可調的，對于不同的晶圓尺寸應用的各個階段，可選擇的光源和可調光源強度等。
產品參數：
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注意：
1，系統配置和規格如有變更，恕不另行通知
2，膜性質、表面質量和層堆疊不是獨立的
3，可定制用于應用的系統
4，TFProbe是Angstrom Sun Technologies Inc注冊商標
主要應用： 1.光刻膠，聚酰亞胺，氧化物，氮化物 2.光學涂層，TiO2，SiO2，Ta2O5 ... 3.半導體化合物，細胞間隙 4. MOEMS中的功能性薄膜 5.薄膜晶體管（TFT）堆疊 6.導電氧化物：氧化銦錫 7.上的涂料 8.非晶，納米和結晶膜 |
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