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等離子去膠機(jī) IoN 100WB-40Q

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產(chǎn)品型號IoN 100WB-40Q

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更新時間：2023-06-16 17:39:03瀏覽次數(shù)：113次

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產(chǎn)品簡介

IoN100WB-40Q是我們推出的具有高性價比的真空等離子去膠設(shè)備

詳細(xì)介紹

IoN 100WB-40Q是我們推出的具有高性價比的真空等離子去膠設(shè)備。它來源于IoN 100-40Q，IoN 100WB-40Q延續(xù)了同樣的品質(zhì)保障，包括可選壓力控制器、光譜終點(diǎn)檢測器等豐富配置選擇。

IoN 100WB-40Q配備了一個圓筒石英腔，特別適用于半導(dǎo)體、LED、MEMS等領(lǐng)域的光刻膠灰化、打殘膠、氮化物刻蝕、表面清潔等應(yīng)用的批次處理。

IoN 100 WB旨在滿足客戶的生產(chǎn)需求，著重于表面處理的多功能性和可控性。其*的性能提供了工藝控制、失效報警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使得該設(shè)備可滿足半導(dǎo)體、LED、MEMS等領(lǐng)域嚴(yán)格的程序控制要求。IoN 100 WB結(jié)構(gòu)緊湊，集成度高，采用射頻（RF）頻率激發(fā)等離子體。

規(guī)格參數(shù)
工作腔室材料石英
腔門材質(zhì) 鋁（標(biāo)配）
腔體尺寸直徑304 mm，深508mm

可處理晶圓尺寸 8"

處理量 50片6"

裝料方式手動
　　　　　　　

工藝氣體
質(zhì)量流量控制計最多至6路氣體
工藝壓力 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間大約1分鐘 (取決于真空泵)

射頻電源風(fēng)冷,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源　　　　　 220V 單相, 50Hz
工藝氣體輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣輸入壓力 4-6 bar

機(jī)體

● 獨(dú)立的機(jī)體帶有所有電源和氣體接口
● 帶有旋轉(zhuǎn)墊腳的可轉(zhuǎn)動機(jī)身

設(shè)備尺寸
標(biāo)準(zhǔn)尺寸 1067 x 737 x 1524 mm（寬/高/深，不含泵）
重量約204千克（不含泵）

可選項

● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)

● 石英腔門
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點(diǎn)檢測器

● 耐腐蝕性氣體的MFC
● 1000 瓦 MHz射頻發(fā)生器
● 真空泵（油泵或干泵）