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EVG105 抗蝕處理系統

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產品型號EVG105

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更新時間：2023-06-16 17:28:13瀏覽次數：152次

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深圳市科時達電子科技有限公司

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產品簡介

可以在EVG105烘焙模塊上執行軟烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙過程

詳細介紹

可以在EVG105烘焙模塊上執行軟烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙過程。受控的烘烤環境確保了均勻的蒸發?？删幊探咏N提供了抗蝕劑硬化過程和溫度曲線的控制。EVG105烘焙模塊可同時處理多達300毫米的晶圓或多達四個100毫米的晶圓。

特征
獨立烘焙模塊
高達300毫米的晶圓尺寸或同時多達四個100毫米的晶圓
溫度均勻性≤1°C @ 100°C，烘烤溫度高達250°C
用于手動和安全晶片裝載/卸載的裝載銷
烘烤定時器
基板真空(直接接觸烘烤)
N2吹掃和接近烘烤0-1 mm距離的晶片到加熱板可選
不規則形狀的基底

技術數據
晶片直徑(襯底尺寸)
300毫米
電爐
溫度范圍:≤250°C
手動調整升降銷至所需的接近間隙