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德國(guó) PVA TePla 等離子清洗機(jī)IoN 40 不銹鋼臺(tái)式清機(jī)設(shè)備

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德國(guó)PVATePla等離子清洗機(jī)型號(hào)：IoN40等離子清洗機(jī)規(guī)格參數(shù)工作腔室材料：鋁容積：36

詳細(xì)介紹

德國(guó) PVA TePla 等離子清洗機(jī)

型號(hào)：IoN 40等離子清洗機(jī)

規(guī)格參數(shù)

工作腔室材料：鋁
容積：升
內(nèi)部尺寸： 229 x 330 x 483 mm

工藝氣體：

質(zhì)量流量控制計(jì)：最多至6路氣體
工藝壓力： 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時(shí)間：大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣：可調(diào)
射頻發(fā)生器：風(fēng)冷,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源：220V 單相, KW, 50Hz
工藝氣體：輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體：輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣：輸入壓力 4-6 bar
尺寸：寬/高/深 775 x 723 x 781 mm（不含泵）
重量：約157千克（不含泵）

可選電極：

● 可抽卸的多層電極板
● 垂直電極
● 3層溫控電極
● 低微粒電極
● 次級(jí)等離子體電極

可選項(xiàng)

● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點(diǎn)檢測(cè)器
● 300 瓦 MHz射頻發(fā)生器
● 水冷機(jī)
● 單體處理裝置
● 真空泵（油泵或干泵）
● 氣相MFC