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德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機 不銹鋼研究設備

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更新時間:2023-06-16 15:27:31瀏覽次數:143次

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產品簡介

德國DienerBellJar35研究型等離子清洗機基本設備:

詳細介紹

德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機



基本設備:

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積:約35升

。供電電源:230V/16A



氣源:

。3個質量流量控制器(MFCs)



控制系統:

。PCCE控制系統(Microsoft Windows XPe)





發生器:

。頻率:40KHz, 功率 0-500W

, 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖,功率300W,電壓600V,直流電

。發生器為 0-99% 無級可調型


真空腔室:

。硼硅玻璃材質的玻璃罩,直徑315MMx高500MM



真空泵:

。規格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)



濺射源:

。1個濺射源2"-3"+擋板(可為反應過程選配排煙管和進氣口)



基材支架:

。直徑140MM(可選擇旋轉型,基材加熱器,基材冷卻裝置)

。可切換為等離子預處現的電極(清洗,活化,蝕刻)





壓力測量:

。Pirani



其它選項:

備件套件,壓力計,腐蝕性氣體設計結構,氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,Faraday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發生器,慢速通風裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護/服務,當地語言的文件,現場安裝,包括培訓,可應需求提供的其它選項。


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