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深圳市科時達電子科技有限公司
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美國HarrickPDC-32G-2基本型等離子清洗機基本參數：主要特征：臺式設計
美國 Harrick PDC-32G-2 基本型等離子清洗機
基本參數：
主要特征：
臺式設計，結構緊湊精致
低、中、高三檔可調節功率，可為18W
設備輻射小，安全環保
外形尺寸："H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）
重量：
輸入電源： 220 V／50Hz
輸入功率： 100 W
功率檔：
低檔680V DC、10mA DC、
中檔700V DC、15mA DC、
高檔720V DC、25mA DC、18W
基本配置：
直徑3英寸，長英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
為18W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥
選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等 氣體計量混合器Plasma FloTM
周邊設備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）
可選件：
選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監視。
3、為向艙內注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個標準的氣體流量計( SCFH & SCFH)
5、溫差電偶真空度表測量艙內壓力
6、適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號：PDC-FMG-2
選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小 m3/hr ( cfm)，壓力為200 mTorr ( mbar)的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號：
1、PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): / m3/hr
極限壓力(氣鎮關)： mTorr
極限壓力(氣鎮開)：23 mTorr
電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V) 抽真空速度(50/60 Hz): m3/hr
極限壓力(氣鎮關): mTorr
極限壓力(氣鎮開: 150 mTorr
電機功率(50/60 Hz): 373 W
重量: 27 lbs
尺寸: 9 3/4"H x
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