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便攜式光學膜厚測量FR-pOrtable測厚儀FR-pOrtable是白熾-LED混合集成式光源系統,通過內嵌式微處理器控制,使用壽命超過20000小時
便攜式 光學 膜厚測量 FR-pOrtable 測厚儀
FR-pOrtable是白熾-LED混合集成式光源系統,通過內嵌式微處理器控制,使用壽命超過20000小時。小型光譜儀,光譜范圍370nm –1020nm,分辨精度可達3648像素,16位級A/D分辨精度;配有USB通訊接口;可對透明和半透明的單個薄膜或薄膜疊層進行精確,精確的
無損表征。FR-pOrtable的緊湊設計保證了測量的高度準確性和可重復性。FR-pOrtable既可以安裝在提供的平臺上,也可以輕松轉換為手持式厚度測量工具,以放置在表征區域上。這樣,FR-pOrtable是用于現場應用的光學表征工具。可以測量反射率,透射率,吸收率和顏色參數。
FR-Monitor膜厚測試軟件系統,可精確計算如下參數:
1)單一或堆積膜層的厚度;
2)靜態或動態模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫,可以有效地協助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。
參考樣片:
1)經校準過的反射標準硅片;
2)經校準過的帶有SiO2/Si 特征區域的樣片;
3)經校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區域的樣片;
4)反射探針臺和樣片夾具:
可處理的樣品尺寸達200mm, 包含不規則的尺寸等;
手動調節可測量高度可達50mm;
可針對更大尺寸訂制樣片夾具;
反射率測量的光學探針:
內嵌系統6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;
附件:
FR-portable透射率測量套件;
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