當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>等離子清洗機系列>>小型等離子清洗機--PCE-6

小型等離子清洗機--PCE-6

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號PCE-6

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：范先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-09-20 14:21:56瀏覽次數(shù)：383次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  等離子清洗機系列

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

上海添時科學儀器有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：60條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：范先生

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 160mm190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

詳細介紹

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

技術(shù)參數(shù)

主要特點	通過控制面板的按鍵及開關，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。設有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體。選用大功率色射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。
參數(shù)	電源：AC220V 50/60Hz 輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W 真空泵功率：<500W 總功率：<600W 射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié) 等離子腔體：高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設有Φ45mm 的觀察窗真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵極限真空度：50mtorr 通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：400mm×300mm×300mm 重量：10.2kg
可選配件	2″-6″石英舟（盛放基片） 2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終身維護