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8英寸高精度程控勻膠機(jī) 旋涂儀 Spin Coater

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產(chǎn)品型號(hào)SYSC-200系列

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更新時(shí)間：2022-12-23 16:00:00瀏覽次數(shù)：712次

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上海三研科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

SYSC-200系列高精度程控勻膠機(jī)（Spin Coater），是*新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。可鍍膜基片達(dá)8英寸。精密高速伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，轉(zhuǎn)速達(dá)12000rpm，轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)。*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)60000rpm/s（有負(fù)載的真實(shí)加速度）。全自動(dòng)程序控制。耐腐蝕，304不銹鋼機(jī)身，腔體采用NPP材料，旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用PEEK材料。安全保護(hù)功能，真空吸片檢測，腔體關(guān)閉檢測。主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、

詳細(xì)介紹

【8英寸】 SYSC-200高精度程控勻膠機(jī) 旋涂儀 Spin Coater

一. 產(chǎn)品應(yīng)用

SYSC-200系列高精度程控旋涂儀（Spin Coater），其*高轉(zhuǎn)速可達(dá)12000rpm，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)60000rpm/s（有負(fù)載條件下的真實(shí)加速度）。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、的加速度、主動(dòng)式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。

二. 產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī)，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。

2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)60000rpm/s（有負(fù)載的真實(shí)加速度）。

3. 兩項(xiàng)安全互鎖功能：

(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)，防止勻膠過程中飛片造成人身傷害；

(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運(yùn)行。

4. 機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。

5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液，避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。

6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

7. 勻膠過程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程*多可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲(chǔ)存50組工藝程序，隨時(shí)調(diào)用。

8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；

9. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無需手動(dòng)操作。

10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時(shí)間"*多為99s，確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間"*多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷。

11. 標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)，防止飛片。

三. 技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號(hào) 技術(shù)參數(shù)	SYSC-200A	SYSC-200B	SYSC-200C
可鍍膜基片尺寸	?10～200mm	?10～200mm	?10～200mm
旋轉(zhuǎn)速度	10～8000rpm	10～10000rpm	10～12000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率	1rpm	1rpm	1rpm
速度精度性	＜0.02%	＜0.02%	＜0.02%
旋涂加速度*	0～40000rpm/s	0～50000rpm/s	0～60000rpm/s
每段加速時(shí)間	999.9s	999.9s	999.9s
每段旋涂時(shí)間	9999.9s	9999.9s	9999.9s
時(shí)間分辨率	0.1s	0.1s	0.1s
預(yù)吸片時(shí)間	99s	99s	99s
解吸片時(shí)間	99s	99s	99s