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深圳市邦企創源科技有限公司


勻膠機

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更新時間:2023-10-07 11:20:13瀏覽次數:313次

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產品簡介

ET系列勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。 英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋

詳細介紹

產品介紹

  ET系列勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。

  英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。

  勻膠機產品特點

  采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠的均一性。

  5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,z多100個階段。

  內置水平校準裝置,保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂。

  多重安全保護:

  電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;

  蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開傷人;

  雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,限度保證實驗人員安全。

  樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。

  一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

  符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品方便。

  不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

  上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠

  勻膠機轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

  勻膠機轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。

  勻膠機目前型號有:

類別 型號 特點 對比

通用型

ET-4A 皮實耐用, 皮實耐用,性價比高,國產電機
ET-4B 304不銹鋼材質防酸防堿防腐蝕 4A升級款,不銹鋼機身,國產電機

中端型

 

ET-4BC 4.3寸彩色觸摸屏
可設10段速度段
加速度可調
轉速范圍50-10000轉/分鐘
4B升級款
4.3寸真彩色觸摸屏
存儲10段無數組數據
國產電機
ET-4C 4.3寸真彩色觸摸屏,最多可設10段10組數據,加速度可調,帶USB口可外接鍵盤鼠標U盤等設備,體積小巧可放入手套箱。可接無線鼠標鍵盤:機器可放于手套箱內,同時客戶可在手套箱外遠程操作機器
1.帶防飛片保護與報警
2.帶防進膠保護與報警
3.帶自動取片提示功能
帶USB通信接口
可正反轉旋涂

美國進口電機

 

 

ET-4L 8寸超大真彩色觸摸屏,最多可設15段無數組數據,加速度可調,帶USB口,串口,網口可外接鍵盤鼠標U盤等設備 8寸超大真彩色觸摸屏
帶USB,RS485串口
可正反轉旋涂
德國進口電機
ET-4E 1.室溫-200℃精確控制
2.8寸超大真彩色觸摸屏,
3.旋涂正反轉可自由切換
4.可帶2-4路自動滴膠顯影功能,
5.腔室采用PTFE材料防酸防堿防腐蝕
6.腔室帶抽廢氣功能
7.吸附不足報警與互鎖
8.帶進膠保護與報警
帶加熱功能
可帶2-4路自動滴膠顯影功能
腔室采用聚四氟乙烯材料

可正反轉旋涂
德國進口電機
ET-4 1.室溫-200℃精確控制
2.可放入手套箱
可放入手套箱
腔室采用聚四氟乙烯材料
ET-4Q 1.旋涂基片可支持300mm(12寸)基片
2.帶機械手可編程涂膠顯影
桌面型
ET-4K 1.旋涂基片可支持450mm基片 1.立柜結構方便操作
ET-4X 產線級旋涂顯影8寸或12寸硅片 工業機柜帶機械手


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