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上海華愛色譜分析技術有限公司
氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,保證不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化項目、上海市重點新產品、上海市火炬計劃和2009科學儀器產品等稱號。
氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,保證不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化項目。
氟的技術指標:
項目 | 指標 | |
氟(F2)(體積分數)/10-2 | ≥ | 99 |
氧(O2)+氮(N2)(體積分數)(N2)/10-2 | ≤ | 0.45 |
四氟化碳(CF4)(體積分數)/10-2 | ≤ | 0.05 |
氟化氫(HF)(體積分數)/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合氣的技術指標:
項目 | 指標 | |
氟(F2)(體積分數)/10-2 | 20 | |
氮(N2)(體積分數)(N2)/10-2 | 80 | |
氧(O2)(體積分數)(N2)/10-2 | ≤ | 0.08 |
四氟化碳(CF4)(體積分數)/10-2 | ≤ | 0.03 |
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