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英福康(廣州)真空儀器有限公司


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BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

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更新時間:2023-03-24 19:10:48瀏覽次數:314次

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產品簡介

BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

詳細介紹

好處

  • BCG450 可節省成本和工具空間,降低真空測量儀器的安裝與設置的復雜性
  • 壓力超過 10 Torr 時壓力測量不受氣體類型限制,可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預抽真空室控制
  • 皮拉尼聯鎖保護絲極,防止過早燒毀
  • 高真空皮拉尼自動調節,減少操作員的干預
  • 大氣氣壓下壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定性
  • 傳感元件帶有板載校準數據,易于更換,可保證再現性
  • 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口
  • 符合 RoHS 標準

典型應用

  • 對半導體過程和預抽真空室的壓力測量
  • 工業鍍膜
  • 在低至超高真空范圍中系統的一般真空測量和控制

新聞

新!現在提供 ProfiNET 數字接口!

規格

類型 BCG450
測量范圍 5×10-10 … 1500
精度  
10-8 … 50 毫巴 % of reading ±15
50 … 950 毫巴 % of reading ±5
950 … 1050 毫巴 % of reading ±2.5
可重復性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
熱離子發射 mbar 2×10-2 (high)
(可選高/低,通過 RS232 / 現場總線) mbar 8×10-3 (low)
除氣 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力, bar (absolute) 5
溫度  
運行(環境) °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤 °C 80
移除烘烤電子設備 °C 150
電源電壓 20 … 28
輸出信號模擬  
輸出信號 V 0 … 10.3
測量范圍輸出 V 0.774 … 10.3
電壓與壓強之間的關系 volts per decade 0.75
錯誤信號 V 0.3 / 0.5
最小負載 k? 10
接口(數字)(2) RS232C
連接器 D-Sub, 15-pin, male
電纜長度, (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護等級 IP30
DeviceNet™  
協議 DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網絡規模 up to 64 nodes per segment
數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設定點繼電器: 設定點數量 2
設定點繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 1400
設定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設定點繼電器: 觸點額定值 60
設定點繼電器: 連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 電源電壓 11 … 25
真空計電源電壓 20 … 28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BCG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器: 設定點數量 2
設定點繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 1400
設定點繼電器: 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器: 滯后 % of reading 10
設定點繼電器: 觸點額定值 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
BCG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器 D-Sub, 15-pin, male
以太網  
以太網協議 protocol specialized for EtherCAT
通訊標準 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP)ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
節點地址 Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
過程數據 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information
以太網連接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度 m (ft.) ≤100 (330)
Profinet  
Communication protocol protocol specalized for Profinet
Data rate 100 Mbps
Physical layer 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions Profinet

read pressure, select Units (Torr, mbar, Pa), emisson control, degas function, monitor gauge status, filament status

Analog function 10 … 10 V anlog output pressure indication
Profinet connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght

<100 m (330 ft)

Cyclic data IO-data
Mailbox (CoE) Profinet configuration, responses and information

1)除氣期間準確性降低

2)不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現場總線

3)RS232C 操作 <>

零件號

BCG450
零件號 明細
353-550 BCG450 規管
353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552 BCG450 規管
353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517 BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF
353-518 BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R
354-492 BCG450 傳感器
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
353-606 BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

附件

BCG450
零件號 明細
353-511 BPG400 24V電源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

備件

BCG450
零件號 明細
354-492 BCG450 傳感器
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.

數據表

手冊

手冊

三維步驟文件

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