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83xxK 系列掃描振鏡電機

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更新時間：2024-08-22 08:05:30瀏覽次數：202次

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產品簡介

83xxK系列電機基于62xxH系列的速度及可靠性，同時具有更高的分辨率和熱穩定性，適用于高要求及高精度的應用

詳細介紹

83xxK系列電機基于62xxH系列的速度及可靠性，同時具有更高的分辨率和熱穩定性，適用于高要求及高精度的應用。各機型均采用的動磁式激勵技術與進一步改進了的Cambridge Technology的增強型位置探測器。83xxK系列產品漂移小、噪音低，適用于微加工類的高精度需求及穩定性要求高的大幅面加工應用。

可達到別的掃描精度、速度及穩定性：

· 業內速度的電機，更好的分辨率及穩定性

· 的精度保證高質量的加工效果

· 強大可靠的設計保證長時間穩定性及使用壽命

· 緊湊的封裝方式易于在小空間內集成

· 選擇范圍廣泛的鏡片（3-50mm）和鍍膜類型

產品型號	8300K	8310K	8315K	8320K	8330K	8331K	8340K	8350K	8360K
入射光直徑 (mm)	3 - 7	3 - 7	3 - 7	5 - 10	8 - 15	8 - 15	12 - 25	25 - 75	30-100
激光波長	355/532nm /1030 - 1080 nm / 9.4 - 10.6 μm ；寬帶鍍膜： 350 nm – 12 μm
掃描角度（°）	40°	40°	40°	40°	40°	40°	40°	40°	40°
轉動慣量 (gm·cm2, ±10%)	0.013	0.018	0.028	0.125	0.97	0.82	2.4	15.6	47.5
扭矩常數(dyne·cm /amp, ±10%)	12000	27900	37800	61700	131000	111000	200000	708000	850000
轉子溫度 (°C)	110°	110°	110°	110°	110°	110°	110°	110°	110°
熱阻 (轉子至機箱,°C/W ，)	3.8	2.0	1.0	1.0	0.8	1.0	0.62	0.35	0.2
線圈電阻（Ω，±10%）	2.14	3.7	2.5	2.79	1.07	1.27	1.03	1.69	0.60
線圈電感 (μH, ±10%)	52	109	94	180	173	176	350	1030	530
反EMF電壓 (μV/°/sec, ±10%)	20.9	48.7	66	108	229	195	346	1220	1480
RMS電流(A、外殼溫度50°）	2.3	2.4	4.1	3.9	7.1	5.8	8.2	7.1	12
峰值電流（A、）	6	8	20	20	25	25	25	20	40
小角度階躍響應	3 mmY鏡片	3 mmY鏡片	3mmY鏡片	5mmY鏡片	10mmY鏡片	10mmY鏡片	15mmY鏡片	50mmY鏡片	50mmY鏡片
小角度階躍響應	130μs	100μs	130μs	200μs	250μs	250μs	350μs	3.0ms	2.1ms
重量（克、常規）	13.3	18	25.8	42.5	267	142	356	590	1200

位置探測器技術參數：

線性度	超過 20°時最小為 99.9%，超過 40°通常為 99.5%
比例漂移	15 ppm/°C（）
零點漂移	5 μrad/°C（）
重復精度（短期）	8 μrad
輸出信號（常規模式）	最小 283 μA、AGC 電流為 60 mA
輸出信號（差分模式）	22.6 μA/° (±2.5%)、常規模式的電流為 283 μA
輸出信號（常規模式與差分模式之比）	12.5 (±2.5%)