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真空紫外光譜儀

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產(chǎn)品型號H30_UVL_VUV

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更新時(shí)間：2022-11-12 11:26:31瀏覽次數(shù)：695次

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深圳市華智騰光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

H30-UVL是一款FUV遠(yuǎn)紫外單色儀，其一般采用出口狹縫分光模式或者CCD探測器平場攝譜模式下工作

詳細(xì)介紹

H30-UVL是一款FUV遠(yuǎn)紫外單色儀，其一般采用出口狹縫分光模式或者CCD探測器平場攝譜模式下工作。其采用非常緊湊和的光學(xué)設(shè)計(jì)，基于的單一全息像差校正環(huán)形光柵，可以獲得了非常好的圖像質(zhì)量和*的光通量。

H30-UVL 是基于EUV到UV波段范圍特別設(shè)計(jì)的一款工作在真空環(huán)境之中單色儀，其可以匹配狹縫-狹縫或者狹縫-CCD進(jìn)行工作。

H30-UVL是采用全息變間距VLS技術(shù)的單個(gè)環(huán)形像差校正光柵的單色儀。其在光學(xué)設(shè)計(jì)方面采用優(yōu)化它的光軸以及大的出口平面上的所有方向(25x10毫米校正平面)，使其實(shí)現(xiàn)理想的一英寸陣列，從而很好地優(yōu)化了雜散光。同時(shí)，采用單一光柵布局具可以將儀器中的光學(xué)數(shù)量減少到最小，增加其在EUV和FUV區(qū)域的光通量。

技術(shù)參數(shù)

光學(xué)結(jié)構(gòu)	Toroidal Grating Type IV VLS single optic
焦距長度	300 mm
數(shù)字孔徑	f/6
光柵密度	1200 gr/mm : 50-300 nm
光學(xué)鍍膜	MgF2 optimized at 121 nm standard or Pt option
光學(xué)入射角	70°
線色散	2.3 nm/mm at 50 nm
驅(qū)動方式	Fast worm drive
最小步距	better than 0.2 nm
真空度	5 10^-6 mbar (HV version) 5 10^-8 mbar (UHV version)
泵法蘭接口	DN63 CF
入口狹縫	Micrometric slits (10 µm to 2 mm)
出口狹縫	Micrometric slits (10 µm to 2 mm) or Adjustable CCD port
入口法蘭	DN40 KF (DN40 CF)
出口法蘭	DN40 KF for slit version (DN40 CF) DN100CF for CCD version
通訊方式	Built-in USB2, no additional controller