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半導(dǎo)體潔凈烘箱

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一、適用區(qū)域

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

PRODUCT FEATURES

潔凈烘箱廣泛用于半導(dǎo)體晶圓、液晶、光學(xué)模組、攝像頭模組和其他對(duì)烘烤要求較高的零件以及設(shè)備的熱處理/干燥或老化，也適用于安裝在潔凈室環(huán)境中。100級(jí)的潔凈度主要通過(guò)使用初效過(guò)濾器，HEPA高效過(guò)濾器和前后層流循環(huán)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，在加熱或冷卻過(guò)程中提供穩(wěn)定的性能。快速升溫和恢復(fù)時(shí)間確保出色的溫度控制和均勻性。具有的機(jī)械對(duì)流氣流系統(tǒng)。風(fēng)扇將底部烤箱產(chǎn)生的熱量帶走，防止損壞頂部單元。

潔凈烘箱采用PT100鉑傳感器測(cè)量實(shí)際的腔室溫度， 0.3µmHEPA高效過(guò)濾器，對(duì)空氣進(jìn)行有效循環(huán)過(guò)濾。烤箱還具備流量計(jì)和NPT配件，將惰性氣體如氮?dú)獾纫肭皇覂?nèi)進(jìn)行特殊工藝烘烤，可以保持低至200PPM含氧水平。

潔凈烘箱外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過(guò)蘇打水清洗后粉體烤漆處理；內(nèi)部是耐腐蝕的不銹鋼。配備四個(gè)可調(diào)節(jié)的穿孔不銹鋼托架，支架和機(jī)身易于拆卸，便于清洗。

安全功能包括獨(dú)立超溫保護(hù)，相序保護(hù)，斷電保護(hù)等多重保護(hù)機(jī)制，確保使用安全。設(shè)有安全門，烘烤降溫到溫度后才可以打開(kāi)門，確保操作人員操作安全。

1、SUS304 1.5mm不銹鋼板，全滿焊工藝；

2、箱內(nèi)風(fēng)道內(nèi)設(shè)有潔凈空氣入口并裝有高效過(guò)濾器。可使用換氣和不換氣模式，可以使箱內(nèi)保證微正壓，以保證污染物不能進(jìn)入內(nèi)箱；

3、高效過(guò)濾器HEPA過(guò)濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室，可以對(duì)箱體內(nèi)氣體進(jìn)行單向過(guò)濾和循環(huán)過(guò)濾。根據(jù)使用要求，可以滿足潔凈級(jí)別ISO Class 5（國(guó)標(biāo)100級(jí)），ISO Class 6（國(guó)標(biāo)1000級(jí)），ISO Class 7（國(guó)標(biāo)10000級(jí)）等各種等級(jí)的需求；

4、配置自動(dòng)充氮?dú)庋b置，與自動(dòng)開(kāi)關(guān)風(fēng)門進(jìn)行充氮烘烤；

5、全新開(kāi)發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng)，帶高精度PID主控儀，控溫精度為±0.1℃，自動(dòng)恒溫。可以保存配方，查看溫度曲線，導(dǎo)出升溫?cái)?shù)據(jù)等；

6、根據(jù)使用要求，可以接受定制。

產(chǎn)品參數(shù)

PRODUCT PARAMETERS

型號(hào)	YH-J100-ES-02
溫度范圍	常溫—300℃
溫度精度	±1℃
溫度均勻性	±2%（空載）
加熱功率	6KW
容積	350L
工作尺寸（高寬深）	910620620(mm)
外部尺寸（高寬深）	17508551030(mm)
過(guò)濾器	HEPA耐高溫高效過(guò)濾器（CLASS 100）
含氧量范圍	1%-100PPM(選配)
升溫速率	升溫速率可調(diào)，空載常溫升至175℃大約30分鐘