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熱反射法薄膜導熱儀 NanoTR / PicoTR

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產品型號NanoTR / PicoTR

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更新時間：2023-01-16 09:11:48瀏覽次數：1752次

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成都東立恒達科技有限公司

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產品簡介

熱反射法薄膜導熱儀 NanoTR / PicoTRNano TR熱反射法薄膜導熱系數測量儀采用熱反射法精確可靠地測定薄膜的熱擴散系數，是目前市場上*精確的的薄膜導熱測量方法，滿足不同樣品的測試需求。

詳細介紹

熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統，可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數，如熱擴散系數（Thermal Diffusivity）、熱導率（Thermal Conductivity）、吸熱系數（Thermal Effusivity）和界面熱阻。

由于激光閃射時間僅為納秒（ns）量級，甚至可達到皮秒（ps）量級，此系統可測量厚度低至10nm的薄膜。同時，系統提供不同的測量模式，以適應于不同的基片情況（透明/不透明）。

該方法符合標準：
JIS R 1689：通過脈沖激光熱反射方法測量精細陶瓷薄膜的熱擴散系數；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。

技術參數	NanoTR	PicoTR
溫度范圍	RT，RT … 300°C（選件）	RT，RT … 500°C（選件）
真空度	N/A	10^-6 mbar（選件）
測量模式	RF/FF	RF/FF
樣品尺寸	10x10 ... 20x20 mm	10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度	RF：金屬：1 ... 20µm 陶瓷：300nm ... 5µm 聚合物：30nm ... 2µm FF：> 1µm	RF：金屬：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm
基片厚度	< 1mm	< 1mm
熱擴散溫升時間	10ns ... 10µs	10ps ... 10ns
熱擴散系數	0.01…1000 mm²/s	0.01…1000 mm²/s
測量精度	5%(RF), 10%(FF)	5%(RF), 10%(FF)
操作系統	Windows 7	Windows 7