簡(jiǎn)介：美國(guó)AEPTechnology公司主要從事半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備,MEMS檢測(cè)設(shè)備,光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測(cè)量解決方案行業(yè)的供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測(cè)量與檢測(cè)

詳細(xì)介紹

簡(jiǎn)介：
美國(guó)AEP Technology公司主要從事半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備, MEMS檢測(cè)設(shè)備, 光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測(cè)量解決方案行業(yè)的供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測(cè)量與檢測(cè)。公司始終致力于微觀表面“三維”檢測(cè)技術(shù)和設(shè)備的研發(fā)及推廣，歷經(jīng)近十年努力，已為30多個(gè)國(guó)家提供NanoMap系列三維表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。
NanoMap-PS是一款專門為nm級(jí)薄膜測(cè)量研發(fā)的無(wú)需防震臺(tái)即可測(cè)量的接觸式臺(tái)階儀。
特點(diǎn)：
1.     掃描性能穩(wěn)定，無(wú)需防震臺(tái)
2.     超低(0.01mg)接觸力
3.     一體化彩色攝像機(jī)在掃描同時(shí)可直接觀察樣品
4.     無(wú)需安裝一鍵操作
5.     簡(jiǎn)單一鍵操作與用戶友好的操作界面

測(cè)量范圍：
測(cè)量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對(duì)于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等“柔軟表面”也可測(cè)量無(wú)須擔(dān)心劃傷或破壞。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類產(chǎn)品的。垂直分辨率可達(dá)0.1nm 。

應(yīng)用領(lǐng)域：
1.     薄膜厚度
2.     二維表面輪廓
3.     二維粗糙度 ISO24578
4.     劃痕磨損的寬度、深度和面積
5.     量綱分析
6.     微電子表面分析
7.     MEMS器件表面分析
8.     太陽(yáng)能電池表面分析
9.     納米材料研究

主要技術(shù)參數(shù)
垂直分辨率: 0.1nm
重復(fù)性: 0.5nm(1Sigema @1um)
垂直范圍: 1000um
掃描范圍: 5000um